MEMS 光纖加速度傳感器是一種雙正交單分向的寬頻帶加速度傳感器，是將加速度檢測質(zhì)量塊、彈性支撐體、光學(xué)反射微鏡、光入射及出射波導(dǎo)直接集成在一個微小的芯片上，真正實現(xiàn)了對加速度信號的全光檢測和傳輸。MEMS 光纖加速度傳感器結(jié)構(gòu)緊湊，采用氧化鋁對MEMES 加速度芯片進行封裝，靈敏度高，動態(tài)范圍大、線性度好、低頻從0Hz開始，具有平坦的頻率特性響應(yīng)、相位呈線性變化，技術(shù)參數(shù)一致性好、性能穩(wěn)定可靠。